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双层洁净无氧烘箱

发表时间：2023-05-06

产品详情

适用于半导体晶圆后段晶圆片清洗之后的软烤，硬烤，电镀工艺，采用SUS304洁净不锈钢材质，进口超高效H.E.P.A过滤器，自动开关风门结构，通过内部不断循环过滤，不断过滤内部partical快速形成无氧洁净环境，机台采用大功率三相静音低震动马达，不锈钢涡轮扇叶，独特设计涡轮结构，结合双循环风道，形成风量均匀的循环热风，实现高洁净，温度均匀的无氧烘烤环境，确保烘烤物料受热均匀，无氧化现象发生。

技术参数

设备型号	FDC-2	FDC-3	FDC-4	FDC-5	FDC-2D	FDC-3D
控温范围	50~200℃(最高可订制400℃）
温度分辨率	0.1℃
温度波动度	±0.5℃
温度均匀度	±1.5%（200℃恒温空载测试数据）
洁净度	class10/100/1000
过滤器效率	H13~H14
内部尺寸mm	W600D500H600	W600D500H900	W800D600H1000	W800D800H1000	(W600D600H500)*2箱	(W400D400H400)*3箱
外部尺寸mm	W950D1180H1410	W950D1180H1710	W1060D1280H1810	W1060D1480H1660	W1630D1220H1780	W1430D1020H1880
层架	2PCS		4PCS

电源	AC 220V 50HZ	AC 380V 50HZ
功率	7KW	9KW	12KW	16KW	16KW	18KW
定时范围	0~99H/M/S
送风方式	单向水平送风
升温时间	RT~200℃约20min
控温方式	P.I.D
结构设计	单门，控制柜位于顶部				多仓，控制柜位于侧面
内部材料	SUS304#
外部材料	钢板烤漆-拉丝或镜面不锈钢
安全保护措施	1.接地保护 2.过载保护3. 相序保护 4.超温保护 5. 独立限温保护

选配	7寸触摸屏HMI人机界面控制器（带历史曲线，USB转存储功能，配套PC端软件及联网端口），φ25mm/φ50mm/φ100mm测试孔电磁门禁系统，温度校准，非标订制服务。