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不锈钢无尘洁净烘箱

ENOHK品牌洁净烘箱(无尘烘箱)-EHC系列采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计,通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤,从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

详细介绍

产品简介:

ENOHK品牌洁净烘箱(无尘烘箱)-EHC系列采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计,通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤,从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

产品特点:

●内胆:采用日制400番2mm厚SUS304#镜面不锈钢板材,经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE

●外壳:采用1.5mm厚 SUS304#不锈钢,表面拉丝处理(SS41#钢板经酸洗磷化等防锈处理后喷塑可选)

●保温层:采用正厂一级100K级高密度超净玻璃纤维材料保温板,厚度80mm

●过滤器:进口耐高温无边框超高效过滤器H.E.P.A,》0.1μm颗粒过滤效率99.999%

●压差计:进口压差计,监控H.E.P.A工作状态。

●温控器:采用日本欧姆龙液晶数字型PID温度控制器,控温精度±0.5% 

●温度传感器:日制进口CA感应棒±0.5%,精度高,误差小

●鼓风装置:采用大功率耐高温长轴减震静音马达,大口径不锈钢涡轮扇叶,可在高温环境下长期稳定工作

●电热发生器:覆套式无尘化电热发生器

●风门调节:进口伺服电机自动风门装置,自动控制风门开关,确保烘烤前后箱内密闭

●把手铰链:采用锌合金合页铰链门扣,易开易关。

●密封胶条:采用改性无氟硅橡胶材质,耐高温,不易老化,密封性极佳

●支撑脚轮:配置4只高承重万象活动轮,前轮带刹车,方便移动,同时配置4只水平调整脚杯

选配组件:

1.程序控温:可配置程序型温度控制器,最大实现99段*99组程序控温。

2.测试孔:可在侧面加装Φ35mm测试孔

3.电磁锁:安全门控电磁锁,确保烘烤过程箱门密闭,内部环境不被破坏。

4.多点温度记录:可配置多点温度记录仪,打印机或RS485接口,连接打印机或PC设备,监控记录温度状况。

5.三色指示灯:工作状态指示灯,待机,运行,故障闪灯光警示。

6.其它非标订制:可根据客户实际需求提供产品订制

EHC系列无尘洁净烘箱规格一览表: 

型号

EHC-180

EHC-270

EHC-480

EHC-980

温度范围

RT(常温)+10~200/ (可订制250℃)

温度分辨率

±0.1

温度波动度

±0.5

温度偏差

±1.0

温度均匀性

150±3          200±5

容积

180L

270L

480L

980L

内部尺寸

(W×D×H)mm

600×500×600

600×500×900

800×600×1000

1400×700×1000

外部尺寸

(W×D×H)mm

980×1240×1510

980×1240×1810

1180×1340×1910

1950×1055×1790

层板

2pcs

2pcs

3pcs

3pcs

电源电压

AC 380V 50HZ

加热功率

6KW

10KW

14W

17KW

洁净等级

Class10~100

Class10~100

Class10~100

 Class10~100

   备注:所有机型外观尺寸仅供参考,实际尺寸以实物为准


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