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双层洁净无氧烘箱CLASS10~100

双层洁净无氧烘箱class10~100

详细介绍

适用于半导体晶圆后段晶圆片清洗之后的软烤,硬烤,电镀工艺,采用SUS304洁净不锈钢材质,进口超高效H.E.P.A过滤器,自动开关风门结构,通过内部不断循环过滤,不断过滤内部partical快速形成无氧洁净环境,机台采用大功率三相静音低震动马达,不锈钢涡轮扇叶,独特设计涡轮结构,结合双循环风道,形成风量均匀的循环热风,实现高洁净,温度均匀的无氧烘烤环境,确保烘烤物料受热均匀,无氧化现象发生。

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